w88新着情報

株式会社安川電機（本社：福岡県北九州市、代表取締役社長：小笠原 浩）は、半導体ウエハ搬送用クリーンw88の新たなラインアップとして、当社のACサーボモータ「Σ-7シリーズ」のダイレクトドライブモータを採用したクリーンw88「SEMISTAR－GEKKO MD124D」を販売開始します。

これにより、従来機種より高精度（位置決め精度 従来比2倍）・低振動（従来機種比1/6）な半導体ウエハ搬送を実現します。併せて、小型・軽量化し駆動能力や拡張性を高めたクリーンw88用標準コントローラSR200も開発しました。SR200は当社クリーンw88全般に適用し、クリーンw88のパフォーマンスを最大限に引き出します。

近年のスマートフォンの製品仕様の進化、IoTの発展に伴うデータセンターの高度化や通信仕様の５G化など技術進化は目覚ましく、これらの技術を支える大きな要素が半導体です。半導体の技術革新は、製造プロセスにおけるnm（ナノメートル）レベルの微細化技術や多層化技術により成り立っており、この進化に貢献するウエハ搬送用のクリーンw88が求められています。

例えば、指定する位置に高精度でウエハを運びたい、ウエハにストレスをかけずに今までと同じ搬送枚数を安全に搬送したい、多数のウエハを収納するために狭いピッチの場所にもウエハを搬送したい、などの要望があります。こういったお客さまからのご要望に応えるために、より高精度で低振動なクリーンw88を開発しました。

従来機種（SEMISTAR-MR124）と比較して、w88の取付け・搬送装置レイアウトの完全互換性を実現（w88本体の形状を維持）、絶対位置精度（0.05mm^＊1）や繰返し位置決め精度（±0.025mm^＊1）は2倍に向上し、w88時のハンド振動（0.25G^＊1、1G=9.8m/s²）も大幅に低減しています。この性能を実現するために、w88のアームに減速機を必要としない当社のACサーボモータ「Σ-7シリーズ」のダイレクトドライブ（DD）モータを搭載した駆動方式としています。

併せて販売するクリーンw88用の標準コントローラ「SR200」は、当社の標準電機品であるマシンw88（MP）を採用し、従来機種比体積42%、質量35%減ながらSEMI規格など主要規格に適合した拡張性を持たせたw88です。

これら製品設計の向上に加えアフターサービスの品質改善も実施しています。例えば、w88からバッテリーを排除し、バッテリー交換をなくしました。また、お客さまが必要な情報を取得しやすいような工夫を施し、プロセスの分析や生産性の改善につなげることができます。w88とコントローラともに調達部品を見直すことで生産継続などサスティナビィリティーを意識した製品です。

*1：当社測定条件による結果の一例

半導体製造装置内でのw88などの搬送

（１）販売開始：2020年5月

（２）販売価格：オープン価格

【問い合わせ先】

株式会社安川電機

w88事業部クリーンw88技術部

小宮路　修

TEL:093-645-7717FAX:093-645-7736